上海真空設備真空泵維修的要點：

真空泵維修的要點是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時，應該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時間相同，而真空度偏低，這時候關閉主閥，如真空計指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時候應先查出漏點。如真空計指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機組抽氣能力不夠，這時可將重點放到查找真空泵及閥門的問題上來，看是哪里出現(xiàn)了泄漏，或是擴散泵油污染了，氧化了;或是前級管路密封不好，泵油不足;或是泵油乳化，軸封漏油等故障。

一、檢測漏率：

用戶最頭疼的問題就是檢測漏率。漏——分內(nèi)漏和外漏，外漏比較好檢測，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機在可疑點附近逐步查尋，會發(fā)現(xiàn)火苗向漏點偏移，則可找到漏點。

(1) 漏和微漏的查找：

小漏和微漏就比較難查了，真空泵維修常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對某些氣體反應敏感來檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點時，電離計的指針會有明顯擺動。用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計的示值穩(wěn)定了——也就是真空機組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復幾次，確認漏點。

(2) 漏和外漏的查找：

內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設備上，查外漏沒有發(fā)現(xiàn)疑點，但是卻有以下現(xiàn)象：機械泵的抽速明顯偏低、真空計示值低、機械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。例：有一臺25㎏中頻爐，配有2X—70旋片泵和兩臺ZJ—150羅茨泵加到一起抽也只抽到10 Pa，ZJ—150泵的作用顯現(xiàn)不出來，沒發(fā)現(xiàn)有外漏，卻具備了機械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點。先把內(nèi)壁清理干凈，再通冷卻水，看有無濕潤點，濕潤處就是漏點。

二、真空泵維修故障點的處理：

找出故障點就可以因地制宜地進行處理了，簡單的辦法就是換件，小到膠圈，螺栓;大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換。對于需要焊接的部位應按要求來進行，焊接后還需確認是否達到了要求。

三、真空泵維修時要注意的環(huán)節(jié)：

維修應注意幾個環(huán)節(jié)。即拆卸、清潔、檢驗及裝配。

真空設備無論大小都屬于精密機械設備，這點很重要。拆卸應遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。

清洗零件時要干凈，徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問題和查出隱患。真空泵類產(chǎn)品與一般機械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應多加小心，切記。千萬別把楞角倒去。

檢驗是個細致活，每個細節(jié)都不要落掉，任何細微的地方都可能是問題所在，所以不能存在僥幸心理。

不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進行裝配。真空泵油若與其他的油或溶劑或水混合會破壞其性能，影響真空泵的性能指標。膠圈要擦干凈，仔細檢查有無缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時必須換，比如油增壓泵各個接口，裝配時泵件同樣需要輕拿輕放;緊螺絲時用力要均，要從對角緊起。動密封多用軸封，上軸封時要細心，先檢查軸封本身有無缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側可薄薄地涂上一層真空脂，上軸封時用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會漏油、漏氣，軸封簧別擠進去，沒了軸封簧軸封就失效了。注意軸封與軸的同心度，有的泵是用對輪連接的，對輪的同軸性要求很嚴格，裝配時要從軸的四面去量，保證平行一致。羅茨泵的對齒輪調(diào)整的關鍵是兩個8型齒輪不相碰。

擴散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國內(nèi)生產(chǎn)的擴散泵主要靠電爐絲的長短來控制泵油的溫度，擴散泵油的注入量就需要考慮當?shù)仉娋W(wǎng)的實際情況來酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網(wǎng)的電壓低油可以減少2 mm，只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來測量。由于制造和使用上的差別，擴散泵注油量僅供參考。

真空泵維修切記不可操之過急，故障沒搞清楚就想當然的開始動手拆卸，舊病未除又添新病，把簡單的問題復雜化了。

1、幾種情況下處理方式：

應急處理

(1) 高溫時斷水、斷電. 真空設備最怕的就是高溫時斷水、斷電。因此用戶最好在設備安裝時建有備用水箱或連有自來水管。

設備在高溫時斷水、斷電，此時，泵、閥門均應處于關閉狀態(tài)，操作人員應馬上接通備用水或自來水，對設備進行水冷，如不能很快來電，還應打開充放氣系統(tǒng)的手動充氣閥，對設備進行充氣保護，充氣壓力為-0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關至“關”的位置。同時用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過熱，造成密封圈損壞。

(2) 更換充氣氣瓶. 設備所用充氣氣瓶需更換時，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒加熱前，應在抽空過程中對爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過程中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。

(3) 正常工作時，發(fā)現(xiàn)設備突然漏氣，如馬上能找到泄露點，須用真空封泥把泄露點封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應立即停止工作，然后檢修。

(4) 設備工作一段時間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2 Pa時加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20℃。在最高爐溫時保溫一個小時以上，然后自然冷卻。這樣使設備內(nèi)部空間保持清潔。

2.2.2機械泵的常見故障及真空泵維修：

2.2.3羅茨泵的常見故障：

羅茨泵是一種旋轉式變?nèi)菡婵毡谩Ｆ錁O限真空度可達5×10-2 Pa，又稱機械增加泵。其工作原理是通過二個“8”字形的轉子旋轉，通過容積的改變來實現(xiàn)抽氣和排氣。其工作原理與羅茨鼓風機相似。

真空泵維修保養(yǎng)：

① 應經(jīng)常保持泵房環(huán)境清潔干燥。

② 應經(jīng)常注意各部分潤滑油的狀況，如發(fā)現(xiàn)不足時，應及時補充。如發(fā)現(xiàn)不清潔時，應及時更換，并注意螺塞重新旋進去時應保證密封。泵工作壓差應控制在旁通閥允許的壓差范圍內(nèi)，否則易燒壞電機。

③ 在拆修時各部件不能用重錘敲打。

④ 拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔，否則會引起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能恢復原有性能。

⑤ 拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。

⑥ 裝配時要注意轉子兩端與左右側蓋的間隙，轉子與轉子，轉子與泵體的間隙按規(guī)定要求調(diào)整。

⑦ 泵體左右側蓋之間之結合面均采用107樹脂(即室溫硫化硅橡膠)密封。

⑧ 真空泵維修裝配前必須注意螺旋套方向，主動軸上靠近電機一側為左旋，齒輪箱一側為右旋，從動軸上則相反。

油擴散泵故障處理

(1)擴散泵工作過程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關閉冷卻水。

(2) 泵停止工作時，泵內(nèi)應保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。

(3) 被抽氣體應是干燥、無腐蝕、無灰塵的氣體。

(4) 泵如暫時不用，保管期間應保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場地的室溫應在10℃～40℃之間。

(5) 泵在正常運行時如突然出現(xiàn)性能變壞，應先檢查加熱器是否正常。

(6) 泵在長期工作后，性能會逐漸變壞，應定期檢修。

a. 泵油是否減少或氧化，按相應要求加油或更換處理。

b. 零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進行擦洗，并置于80℃～100℃溫度下烘干或用電吹風吹干。

c. 處理完后，按順序進行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。